يعد نظام فراغ أشباه الموصلات أحد المعدات الرئيسية المستخدمة لتصنيع أجهزة أشباه الموصلات. إنه نظام مغلق في بيئة نظيفة للغاية ومنخفضة الضغط للتعامل مع ومعالجة المواد والأجهزة شبه الموصلة.
في أنظمة التفريغ شبه الموصلة، غالبًا ما يتم استخدام الأختام المطاطية عالية الأداء نظرًا لمتطلبات النظافة العالية ومعدلات التسرب المنخفضة. فيما يلي بعض أنواع الأختام المطاطية الشائعة:
أختام Viton (FPM): Viton عبارة عن مادة كيميائية ومطاط فلوري مقاوم لدرجات الحرارة العالية يستخدم على نطاق واسع في أنظمة التفريغ. إنها تتميز بمقاومة ممتازة لدرجات الحرارة العالية، ومقاومة للتآكل ونفاذية غاز منخفضة، مما يجعلها مناسبة لمتطلبات الختم التي تتحمل الفراغ العالي وبيئات درجات الحرارة العالية.
أختام النتريل (NBR): النتريل عبارة عن مطاط صناعي للأغراض العامة يتمتع بمقاومة جيدة للزيت والتآكل. في أنظمة فراغ أشباه الموصلات، تستخدم أختام النتريل بشكل رئيسي في بعض التطبيقات غير ذات درجات الحرارة العالية وغير القابلة للتآكل، مثل توصيلات أنابيب الغاز والفراغ المنخفض.
ختم السيليكون (VMQ): السيليكون عبارة عن مطاط السيليكون المقاوم لدرجة الحرارة العالية مع مرونة جيدة ومقاومة للحرارة. غالبًا ما يتم استخدامه في أنظمة التفريغ لأشباه الموصلات لتحمل متطلبات الختم في البيئات ذات درجة الحرارة العالية، مثل المعالجة الحرارية، والتليين، والتنظيف بالبخار ذي درجة الحرارة العالية.
ختم EPDM: EPDM عبارة عن مطاط بروبيلين الإيثيلين مع مقاومة جيدة للأكسدة، ومقاومة الأحماض والقلويات. في أنظمة فراغ أشباه الموصلات، غالبًا ما تستخدم أختام EPDM في التطبيقات غير ذات درجات الحرارة العالية وغير القابلة للتآكل مثل خطوط أنابيب نقل الغاز والفراغ المنخفض.
تتميز هذه الأختام المطاطية بخصائص ونطاقات تطبيق مختلفة. عند اختيار الختم المناسب، يجب مراعاة عوامل مثل ظروف عمل النظام، ونطاق درجة الحرارة، وخصائص الوسط، ومتطلبات الضغط. بالإضافة إلى ذلك، من أجل ضمان أداء الختم، فإن عملية التصنيع والتركيب للأختام تحتاج أيضًا إلى اتباع متطلبات العملية الصارمة.
في أنظمة فراغ أشباه الموصلات، بالإضافة إلى الأختام المطاطية، غالبا ما تستخدم الحشيات المطاطية لتحقيق الختم الفعال. فيما يلي بعض أنواع الأختام المطاطية الشائعة:
حشية الحلقة O: الحلقة O عبارة عن حشية مطاطية ذات مقطع عرضي دائري وتستخدم على نطاق واسع في أنظمة فراغ أشباه الموصلات. لديها أداء ختم جيد وقدرة تشوه الضغط، ويمكن أن تتكيف مع متطلبات الختم المختلفة، مثل توصيلات الأنابيب، والصمامات، والمفاصل، وما إلى ذلك.
الختم المسطح: الختم المسطح هو ختم مطاطي مسطح يستخدم عادة لوصلات الحافة في أنظمة فراغ أشباه الموصلات. إنه يحقق الختم من خلال التلامس مع سطح الحافة وعادة ما يكون مصنوعًا من مادة مطاطية مقاومة للمواد الكيميائية ذات درجات الحرارة العالية مثل Viton أو السيليكون.
حشية على شكل حرف U: حشية على شكل حرف U عبارة عن حشية مطاطية ذات مقطع عرضي على شكل حرف U مناسبة لاحتياجات الختم المحددة في أنظمة التفريغ لأشباه الموصلات. غالبًا ما يتم استخدامه لإغلاق الغطاسات وقضبان المكبس والأسطوانات والمكونات الأخرى، ويتميز بأداء إغلاق جيد ومقاومة لتشوه الضغط.
حشية على شكل حرف V: حشية على شكل حرف V عبارة عن حشية مطاطية ذات مقطع عرضي على شكل حرف V تستخدم عادة للصمامات وأختام العمود الدوار في أنظمة التفريغ لأشباه الموصلات. إنها تحقق الختم الفعال من خلال التلامس مع سطح الختم، وتتميز بختم جيد ومقاومة التآكل.
يتم تحديد اختيار هذه الأختام المطاطية بناءً على متطلبات الختم المحددة وظروف العمل وخصائص الوسائط. وفي الوقت نفسه، فإن اختيار المواد للحشية مهم جدًا أيضًا. المواد شائعة الاستخدام تشمل الفيتون، النتريل، السيليكون، إلخ. الاختيار المحدد يجب أن يأخذ في الاعتبار عوامل مثل نطاق درجة الحرارة، مقاومة التآكل الكيميائي، ومعدل تسرب الغاز. عند تركيب الحشية، يجب الانتباه إلى الحفاظ على سطح الختم نظيفًا والتأكد من تثبيت الحشية والضغط عليها بشكل صحيح للحصول على تأثير إغلاق جيد.
الوسم : أختام نظام فراغ أشباه الموصلات، أختام نظام فراغ أشباه الموصلات في الصين المصنعين والموردين والمصنع
