المطاط المشبع بالفلور (FFKM)هي مادة ختم ممتازة. ونظرًا لأدائه المتفوق، فقد وجد استخدامًا واسع النطاق في جميع أنحاء نظام تصنيع أشباه الموصلات. واحدة من المواد الاستهلاكية الأساسية اللازمة لإنتاج الدوائر المتكاملة هي حلقات الختم البيرفلوروإيثر.
المونومرات الرئيسية في مطاط الإيثر البيرفلوري هي رباعي فلورو إيثيلين وإيثر فينيل البيرفلوروألكيل، والتي يتم بلمرة مشتركة مع كمية صغيرة من المونومرات الثالثة مع نقاط الفلكنة. وهو مطاط لا يحتوي على روابط CH على الإطلاق. يؤثر محتوى الفلور في بنيته الجزيئية، وبنية ومحتوى إيثر الفينيل البيرفلوري، وطاقة الرابطة وكمية الروابط المتشابكة في عملية الفلكنة، على أداء المركب المفلكن ودرجة حرارة التزجج. يختلف الهيكل والمكونات وكذلك أدائها. فيما يلي خصائص الأداء الأساسية للمطاط المشبع بالفلور:
1) الخواص الفيزيائية: الكثافة هي 1.9-2.0 جم/سم 3، والخصائص الفيزيائية والميكانيكية تشبه المطاط الفلوري، ومجموعة الضغط ذات درجة الحرارة العالية تتفوق على المطاط الفلوري.
2) المقاومة الكيميائية: وهي مقاومة كيميائيا.
3) مقاومة درجات الحرارة العالية والمنخفضة: درجة حرارة التشغيل عادة هي 260290 درجة، ولكن يمكن استخدامها بشكل متقطع عند 316 درجة. Tg (درجة حرارة التزجج) لبعض مطاط الإيثر المشبع بالفلور هي -19 درجة.
4) مقاومة البخار ذو درجة الحرارة العالية.
5) انخفاض هطول الأمطار والإفراج.
6) مقاومة البلازما.
يتميز بنظافة عالية وخصائص منتج منخفضة الترسيب في بيئة البلازما، ويمكنه تحمل تأثير البلازما لفترة طويلة.تعد موثوقية الحشيات المطاطية أمرًا بالغ الأهمية في تصنيع أشباه الموصلات، كما أن تكلفة إيقاف الإنتاج لاستبدال الحشيات مرتفعة للغاية. متطلبات نظافة ونقاء الأختام صارمة للغاية لتجنب المخاطر المحتملة. وفي الوقت نفسه، يجب أن تكون الأختام قادرة على العمل لفترة طويلة من الزمن تحت ضغط الفراغ العالي والغازات الكيميائية المسببة للتآكل وبيئة درجة الحرارة المرتفعة.
المواد الخام المطاطية البيرفلوروإيثر غالية الثمن وتستخدم عادة في تصنيع أشباه الموصلات. إنه مقاوم لتآكل البلازما، وتآكل الغاز، والتآكل الحمضي والقلوي، والتآكل في درجات الحرارة العالية، ومتطلبات النظافة العالية للأختام المطاطية، ويساعد على الحفاظ على سلامة الختم، ويقلل من أوقات الصيانة ويحسن السلامة، وهو أفضل ختم لتصنيع أشباه الموصلات. مادة.